CCQ-100 超高真空气动插板阀
    CCQ-100超高真空气动插板阀适用于超高真空系统，操作简便，采用不锈 钢阀体，传动部件为不锈钢波纹管，采用日本氟橡胶密封圈，具有高通导，短行程，密封好，放气率低 等特点。气动阀操作简单、灵活，适用于自动控制。本系列阀在真空系统中的连接形式为CF国际标准铜 垫圈密封刀口法兰。
技术指标
  • 真空范围 Pa 大气~10-7以下
  • 公称通径 mm 100
  • 流导 L/S 1300
  • 漏率 Pa.m³/s 1.3×10-10
  • 连接尺寸ΦB(中心矩)mm 130.3
  • n(螺钉数)16
  • ΦC(螺孔)mm M8
  • 允许烘烤温度(开)℃＜150
  • 允许烘烤温度(关)℃＜125
  • 工作气压 MPa 0.5~0.6
  • 安装的空间位置 任意(最佳工作状态为水平安装，最好避免气缸冲下将阀门倒装
    分子流状态下按长管计算的理论值,不作验收依据
    		• CCQ-100 超高真空气动插板阀
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    厂商：
  • 北京科仪技术发展有限责任公司
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