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即时监测 ppt级微量腐蚀性气体(NH3/NMP/Total Amines/Total Acid/HCl/Cl 2/POC ...等)
操作简单, 维修简易 (6个月)
具 HMI 人机介面多点监测系统 (4/16/30/45/60点)
国内已有 ERSO、INER、UMC 8A/B/C/D/E/F、TSMC Fab 5/7A/8A/8B、Mosel、Promos Fab 1 & 12、MXIC、Windbond Fab 4/5、Vanguard、SIS、Nan-Ya、PMS、 鸿海...等半导体厂陆续使用中
国外亦有Intel、AMD、IBM、AT&T、AMP、Philips、
Sematech、Motorola 、Thomson、Micron、Graner、TEL...等大厂使用中
目前中国大陆已有中芯一厂(SMIC)及摩扥罗拉(MO-17)使用中
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