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特点:
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| 型号 | JN2-XD-303AH | JN2-XD-303PH | JN2-XD-303BH | JN2-XD-303 |
| 检测对象气体 | 砷烷(ASH3) | 磷烷(PH3) | 乙硼烷(B2H6) | 其它 |
| 检 测 范 围 | 0~1ppm 0~0.2ppm |
0~1ppm 0~0.3ppm |
0~1ppm | 因规格而异 |
| 最 小 刻 度 | 0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm | |
| 采 样 方 式 | 自动吸引式 | |||
| 应 答 速 度 | 60%应答40秒 | |||
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