|
检测器类型 单光束,电磁等离子室
精度 好于满量程的± 1 %
要求样气流量 30 - 150 sccm
气体连接 样气:1/8” 锁紧螺母管接头
排气:1/8” 锁紧螺母管接头
流量精度 0 - 200 sccm ± 满量程的1 %
建议最大工作压力: 20 PSIG(138 kPAG)
建议最小工作压力: 4 PSIG(28 kPAG)
|
量程
0 - 1 ppm,分辨率:10 ppb
0 - 10 ppm,分辨率:0.1 ppm
0 - 100 ppm,分辨率: 1 ppm
工作温度 10℃ - 35℃
电源 115 VAC, 50 - 60 Hz或 220 VAC, 50 - 60 Hz
功耗 最大35 W
重量 15 kg(33 lbs)
|