XP-703D (自动吸引式)半导体特气检漏仪
特点:
  • 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
  • 采用声光报警。
    规格:
    检测对象气体 半导体材料气体(砷、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
    检测原理 热线型半导体式
    采样方式 自动吸引式
    可检测浓度
    (单位:ppm)
    砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
    AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
    0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
    检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
    应答速度 10秒以内
    特长:带探头延长线,适合对罐及地下井的缺氧检测。
  • XP-703D (自动吸引式)半导体特气检漏仪
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    厂商
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