SFJ-251系列氦质谱检漏仪是我公司借鉴国外先进检漏技术和多年质谱生产经验设计而成的专门用
于电子元器件检漏的仪器,包括SFJ-251,SFJ-251B,SFJ-251C三种型号,该系列产品外观一致,采用
人性化设计,操作简单、方便。将被广泛的用于集成电路、半导体、电子元器件、继电器、晶体谐振器
、真空元器件等行业。
主要技术指标(SFJ-251/251B/251C):
最小可检漏率:
5×10-12/8×10-13/2×10-11Pa·m³/s
漏率显示范围:
1×10-3~1×10-12/1×10-3~1×10-13/1×10
-4~1×10-11Pa·m³/s
启动时间: ≤5min/2min/5min
响应时间: ≤2s/1s/2s
检漏口最高压力: 1000Pa/2000Pa/300Pa
极限真空: 5×10-4Pa
外形尺寸: 700(W)×580(D)×800(H)
|