ZQA-402 残余气体分析质谱仪
ZQA-402是一种高性能残余气体分析仪器。它采用鼠笼式离子源及先进的 玻璃一体化双曲面四极杆作为分析器,用户可根据需要选择法拉第筒或电子倍增器作为接收器。数据处 理系统采用PC机作主机,可输出全谱图、棒图、时间谱及分压强谱图、数据列表等。一台残气分析仪装 入真空系统中,可以一机多用,既可作残气分析仪,又可作本系统的检漏仪,可以使用多种气体作示漏 气体。打破了氦质谱检漏仪监测单一气体的局限性。
技术指标
分辨本领 1 amu
最小可检分压强 5E-9 Pa(氮气)
质量范围 2-100amu,2-200amu,2-300amu
峰高稳定性 <±5%/4h
灵敏度 2E-6 A/Pa(氮气)
峰位稳定性 <±0.5 amu/4h
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厂商
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北京科仪技术发展有限责任公司
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