ZQJ-230G 型氦质谱检漏仪
    ZQJ-230G型氦质谱检漏仪采用高压缩比的涡轮分子泵替换ZQJ-230型仪器 上的FB150型分子泵，使仪器能在更高的检漏口压力下检漏，从而大大缩短了预抽时间。适合于大系统检 漏。
技术指标
  • 最小可检漏率 5×10-10Pa.m³/s(He)
  • 允许检漏口(被检件)最大压力 <100 Pa
  • 在100Pa时的检漏灵敏度 5×10-8Pa.m³/s
  • 响应时间 <3秒(分子泵)
  • 启动时间 约8分钟
  • 在30Pa时的检漏灵敏度 5×10-9Pa.m³/s
    		• ZQJ-230G 型氦质谱检漏仪
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    厂商：
  • 北京科仪技术发展有限责任公司
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