型号:AWM2100V/2200V/2300V/42150VH/42300V
特点：
◇流量（sccm）：-200~+200/-60~+60/-1000~+1000/-25~+25/-1000~+1000
◇管子直径：2100、2200、2300的外部直径为5.1MM，内部直径为3.6MM 42150、42300 的外部直径为3.0MM，内部直径为2.3MM
◇激励： 2100、2200、2300的电压为10.0±0.01VDC，电流为3MAXmA，功率为30mW典型值 42150、42300的电压为10VDC，电流为6mA，功率为60mA典型值
◇灵敏度： 2100{0.3mV/sccm(＠±100sccm)},2300{0.077mV/sccm(＠±650sccm) 2200{4mV/mbar(＠±4.98mbar),42150{0.34mV/sccm(＠±25sccm)},
42300{0.055mV/sccm(＠±1000sccm)}
◇工作温度：都是-25~+85℃
◇储存温度：都是-40~+90℃
◇压差（mbar)：2100为-0.5~+0.5＠±200sccm，2300为-1.5~+1.5＠±1000sccm，42300为3.7＠满量程
◇过差（mbar)：2100、2200、2300为345 ，42150、42300为150psi max
