AWM 3000V 系列带放大输出流量传感器
    流量传感器是微桥气流质量传感器，分带放大输出和不带放大输出的型号气体流量传感器是基于气体流过传感元件的热传输原理，传感器的输出电压正比与内部传感元件的进出口气体质量。传感器采用最新的微结构技术，内含一 块独特的硅芯片，芯片中包含薄膜电路，发热及热敏感元件的热隔离桥电路，桥电路对流过芯片的气流快速、灵敏的响应。发热体两侧的敏感元件还能提出气体流量流过的方向，激光修正的厚膜电路及薄膜电阻保证了每个元件的一致性。
型号:AWM3100V/3200V/3300V/43300V/43600V/5000V
特点：
◇流量（sccm）：0~200/0~60/0~1000/+1000sccm/+6SLPM/0~5(10、15、20）SLPM
◇管子直径：3100、3200、3300的外部直径为5.1MM，内部直径为3.6MM
◇43300、43600 的外部直径为3.0MM，内部直径为2.3MM，5000为1/4NPT接口或平滑接口
◇激励： 3100、3200、3300的电压为10.0±0.01VDC，电流为3MAXmA，功率为30mW典型值 43300、43600的电压为10VDC，电流为6mA，功率为60mA典型值，电压为10±0.01, 率为100max，响应时间：最多为3秒,5000的为60秒
◇灵敏度：3100{20mV/sccm(＠200sccm)},3300{4mV/sccm(＠1000sccm)
3200{0.8mV/mbar(＠±4.98mbar),43300{5mV/sccm(＠±1000sccm)}, 43600{833mV/SLPM(＠6SLPM)},5000为0.8Vdc/SLPM可变
◇工作温度：都是-25~+85℃
◇储存温度：都是-40~+90℃
◇压差（mbar)：3100为+0.5＠±200sccm，3300为+1.5＠±1000sccm，43300为2.5＠满量程, 43600为19.9＠满量程，5000为0.6典型值可变。
◇过差（mbar)：3100、3200、3300为345 ，43300、43600为150psi max，5000为3500 		AWM 3000V 系列带放大输出流量传感器
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厂商：
  • 深圳市光之神电子有限公司
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