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测量范围 100～1X10-4Pa
控制范围 100～1X10-3Pa
控制准确度 ±2% ±1个字
流量控制范围
0-2000SCCM(主气)
0-2000SCCM(辅气)
比例系数调节范围 1～99%
离子流放大器满度误差≤5%±1个字
灯丝保护真空 >100Pa
模拟量输出 0-5V
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工作电参数(配用Zj-10规管)
规管加速极对地电位 165V±2%
规管阴极对地电位 50±2%
收集极对地电位 0V
除气的方式 电子轰出气，最大的除气功率20W
外型尺寸:
KBA台式 480×119×280(宽×高×深)
KBB上架式:480×119×280(宽×高×深)
重量 约6.5Kg(包括阀重量)
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