F110 型系列涡轮分子泵
F110涡轮分子泵由一系列高速旋转的动片和固定的静片组成,动片、静片 相间排列。气体分子与高速旋转的动片相碰撞,获得沿运动表面方向的速度分量,通过一系列动片、静 片的组合,使气体分子不断定向运动,产生抽气效果和压缩气体作用。
F110涡轮分子泵操作简单,可垂直、水平位置安装,启动快,低振动,低 噪声,低功耗。在高真空区域无油蒸汽污染,可获得清洁的高真空和超高真空环境.
技术指标:
极限压力(pa)CF100:≤6×10
-7
LF100: ≤6×10
-6
pa
抽气速率 110升/秒
压缩比 N
2
>108 H
2
>5×10
2
进气口通径 LF100 CF100
出气口通径 KF25
启动时间 <2分
额定转速 42300转/分
安装方式 垂直或水平
冷却方式 水冷或风冷
泵体烘烤温度 100℃±10℃
重量 8公斤
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厂商
:
北京科仪技术发展有限责任公司
仪器仪表站
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