F-160/500NF耐腐蚀复合是分子泵是一种新型的能获得超高真空环境的高
速机械真空泵。它具有启动时间短,高压强下抽速大,运转可靠,寿命长等优良特性。
F-160/500NF耐腐蚀复合是分子泵由多组涡轮抽气级叶轮和盘形压缩叶轮
组成。泵的旋转涡轮由鼠笼式三相感应中频电机同轴拖动,电机轴支撑在两个高精密滚动轴承上。轴承
的润滑由安装在电机轴下端得倒锥形成油锥供给。在高速旋转下,油锥将润滑油吸入中空的电机轴内,
并且通过位于轴承上端的油孔喷在上下轴承上,通过轴承的润滑油,在重力的作用下,经过特定的油路
返回油池,形成循环润滑系统。泵在高速运转工作时由冷却水进行冷却.
F-160/500NF耐腐蚀复合分子泵由分子泵中频电源驱动。
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技术指标
润滑油量 ∽150 ml
冷却水流量 >2 l/min
冷却水温度 5-30℃
最大导入气体压强*(泵在15°C水冷工作条件下)<60Pa
泵烘烤速度 100+10℃
压缩比 对N2>109 对H2>103
入口连接法兰 CF150或LF160
排气口连接法兰 KF40
额定转速 24000r/min
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极限压强
≤6×10-8Pa二级旋片泵+涡轮分子泵,二级旋片泵+油扩散泵,进气口金属;
≤6×10-7Pa二级旋片泵,金属;
≤6×10-6Pa二级旋片泵,氟橡胶
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抽气速率(对空气)
<1.3×10-1Pa时抽气速率500l/s
<7 Pa时抽气速率130l/s
启动时间 ≤5min
加热带功率 250W
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加热带电压 220V 50/60Hz
安装形式 垂直+5°
安装形式 25Kg
外形尺寸(长×宽×高)240×240×430mm
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