FF-160/500风冷复合式分子泵是一种新型的能获得超高真空环境的高速
机械真空泵。它具有起动时间短,高压强下抽速大,运转可靠,寿命长等优良特性。
FF-160/500风冷复合式分子泵由多组涡轮抽气级叶轮和盘形压缩级叶轮
组成。泵的旋转涡轮由鼠笼式三相感应中频电机同轴拖动,电机轴支撑在两个高精密陶瓷滚动轴承上。
轴承的润滑由安装在电机轴下端的倒锥形油锥供给。在高速旋转下,油锥将润滑油吸入中空的电机轴内
,并且通过位于轴承上端的油孔喷在上下轴承上,通过轴承的润滑油,在重力的作用下,经过特定的油
路返回油池,形成循环润滑系统。泵必须垂直安装使用。泵在高速运转工作时由风机进行冷却。
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FF-160/500风冷复合式分子泵由分子泵中频电源驱动;使用前请详细阅
读分子泵电源使用说明书。
技术指标
抽气速率(对空气)
<1.3×10-1Pa时 抽气速率500l/s
<7Pa时 抽气速率130l/s
压缩比 对N2>109对H2>103
入口连接法兰 CF150或LF160
排气口连接法兰 KF40
额定转速 24000r/min
启动时间 ≤5min
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润滑油量 ∽150 ml
加热带电压 220V 50/60Hz
冷却水温度 5-30℃
风冷复合式分子泵最高工作环境温度 35℃
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泵烘烤速度 100+10℃
加热带功率 250W
泵体重量 25Kg
外形尺寸(长×宽×高) 240×240×430mm
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