FX-63 涡轮分子泵
   FX-63涡轮分子泵是一种高速机械式真空泵，对被抽气体无选择性、无记忆 效应、操作简单、使用方便。由于对分子量大的气体具有很高的压缩比，因此在运转过程中，高真空区 域不会受到油蒸汽的污染，该泵不需要冷阱和油挡板，即可获得清洁的高真空和超高真空环境。它广泛 应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。
技术指标
  • 极限压强： a.6×10-8Pa b.6×10-7Pa c.6×10-6Pa
  • 抽气速率 对于N250L／S
  • 压缩比 ＞108
  • 前级真空联接法 KF16
  • 前级泵抽速 ≥0.5 l／s
  • 高真空联接法兰 CF63(LF63)
  • 额定转速 75000 rpm
  • 振动值 ≤0.05mm／s
  • 启动时间 ≤3min
  • 水冷 冷却水流量 ＞ 0.5 L／min
    		• FX-63 涡轮分子泵
  • 风冷 风机电源 220V,50Hz
  • 环境温度＜35℃
  • 冷却水温度 5～30℃
  • 安装形式 垂直偏差小于30
  • 泵体重量 3Kg
  • 外形尺寸(长×宽×高)169×152×207mm
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    厂商：
  • 北京科仪技术发展有限责任公司
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