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．作用与用途 CKC 系列超精孔径及垂直度测量仪,采用国际领先的微瞄准、微位移和双频激光干涉技术，可以实现孔径的亚微米测量，可广泛应用于各种精密计量场合。 2．功能与特点 (1)采用双频激光干涉仪测量位移： 由于双频激光干涉仪的长度基准直接溯源于激光波长，因而它具有测量精度高、稳定性和抗干扰能力强的显著优点。采用具有纳米级分辨率和精度的双频激光干涉仪为测头，可以从根本上保证测量系统的总体精度。 (2) 采用精密双向电感传感器进行瞄准 ：完全克服反向瞄准带来的误差，显著提高瞄准精度。 (3)采用独特的粗细结合的闭环控制技术： 在测头移动过程中 ，采用步进电机带动测头快速大范围移动；在边缘瞄准时， 采用高分辨率的电致伸缩器件驱动测头微位移，利用闭环超精瞄准技术进行微动瞄准和动态采样。这样有效地解决了大范围快速运动与超精微位移的矛盾，既保证了测量精度，又大大缩短了测量时间。 (4) 采用高精度气浮导轨： 气浮导轨不仅运动精度高，而且振动小，位移分辨率高，从而避免了机械式导轨的振动对测量精度的影响。 (5)采用 测头常数校正技术： 通过测头常数的校正，可以补偿测头直径误差和测力变化引起的测量误差，提高测量精度，同时降低了对测头标定精度的苛刻要求。 (6)采用温度补偿技术修正温度误差： 系统在线测量环境温度和工件温度，并进行实时补偿和修正，最大限度的降低温度波动的影响。 (7)操作方便、自动化程度高： 测量系统的全部工作都是在计算机的统一控制下完成的，操作者只需简单的安装被测零件，其余工作全部有计算机控制来完成，包括测量线搜索定位、微瞄准、空行程往返、测量结果显示、测量数据处理、存储和打印等。 (8)强大的图形显示功能： 测量过程中的每一步动作、状态和有关数据，均实时在屏幕上显示出来，包括测量曲线、测头位置动画、测量时间等。 (9)丰富的统计检索功能： 测量系统可及时保存各次的测量数据及处理结果，并可对以往保存的测量记录进行多功能检索和统计处理，可极大方便不同用户的需求。 (10) 故障诊断功能：测量系统采用独特的节点特征码分析技术，实现测量系统的在线检测和故障诊断，保证了系统工作的正常进行，提高了系统可靠性和测量结果的置信度。 3．技术指标 CKC 系列超精孔径及垂直度测量仪功能与技术指标一览表
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