【适用于品管室及实验室用】
特长：
X、Z轴同时配备广．狭范围高精度雷射摄影线性尺，实现X轴6.25nm、Z轴2nm之世界最高水准解析度能力。
X轴驱动部．Z轴检出器上装有温度感应器，对于温度变化具有补正机能外，同时于Z轴也配备有因驱动部移动负载重量变化所产生之挠动补正机能。（专利申请中）
提高了Z轴检出器对高周波成分的反应性，所以即使是陡峭的凹凸面也能抑制测针跳动，确实地扫描量测面，实现了动态式控制方式之量测。（专利申请中）
电脑解析方面，配备拥有高机能及优越操作性之优良口碑，统合更新版本FORMPAK-1000与SURFPAK-SV之FORMTRACPAK软体。
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