ET-4000 膜厚段差测定仪
  • 具有精密真直度，提高再现性
  • 采用直动式检出器，无ARC 误差问题
  • 具有各种尺寸 Table，客户可指定尺寸
  • 测定再现性，10 A°以下
  • 适合半导体100A°～100μm 薄膜段差量测
    		• ET-4000 膜厚段差测定仪
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    厂商：
  • 日本小槟研究所
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