VI-2200芯片外观检查装置
    是利用新开发的显微镜系统和高速高精度的模式配合影像处理技术，检查IC芯片、精密电子元件上微小的异物和缺陷的装置。使用对合格品的记忆，而进行缺陷检测的阿拉伯式记数法，以及新开发的大量数据高速运算软件，自动对放置在载物台上的被测物 体进行检查。进行晶片单品合格与否的判定，保存不合格晶片的位置信息，有利于外观检查工程的合理化和提高品质。
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