特征
三轴花岗石结构气浮导轨、Z轴气动平衡
粘贴式三轴光栅标尺
三轴联动矢量运行(可匹配手动)
技术规格
| 型号 |
X(mm) |
Y(mm) |
Z(mm) |
| 1 |
1 |
1 |
2 |
| 0.5-0.4-0.3 |
500 |
400 |
300 |
| 1-0.6-0.4 |
1000 |
600 |
400 |
| 1.5-1-0.8 |
1500 |
1000 |
800 |
| 2-1-0.8 |
2000 |
1000 |
800 |
| 2.5-1.5-1 |
2500 |
1500 |
1000 |
| 3-2-1 |
3000 |
2000 |
1000 |
|

精度等级:A、B、C三级
| 精度等级 |
单轴精度(um) |
空间精度(um) |
R |
| 1 |
1 |
自 |
到 |
| A |
1.5+2L/1000 |
2.5+3.5L/1000 |
5 |
| B |
3+4L/1000 |
5+6L/1000 |
8 |
|