技术规格
| Y量程(mm) |
Z量程(mm) |
X量程(mm) |
| 1 |
1 |
自 |
到 |
| 600 |
1000 |
2000 |
3000 |
| 800 |
1500 |
3000 |
5000 |
| 1200 |
2000 |
5000 |
8000 |
| 1600 |
3000 |
8000 |
12000 |
| 分辨率:0.001/0.005/0.01(mm) |
|
精度等级:A、B、C三级
| 等级 |
单轴(um) |
空间(um) |
R |
| 1 |
1 |
自 |
到 |
| A |
5+5L/1000 |
20+15L/1000 |
1 |
| B |
25+15L/1000 |
50+20L/1000 |
1 |
| C |
40+20L/1000 |
80+30L/1000 |
1 |
|